2014年，在中央一系列扩大内需、稳增长、淘汰落后产能的各项政策推动和国家科技专项的支持下，我国半导体设备行业加快了自主创新和转型升级的步伐，呈现快速增长态势。
根据中国电子专用设备工业协会对国内35家主要半导体设备制造商的统计，2014年半导体设备完成销售收入40.53亿元，同比增长34.5%;实现利润8.48亿元，同比增长13.8%;出*货值4.41亿元，同比增长50.5%。
其中，太阳能电池设备完成销售收入14.66亿元，同比增长11.48%;出***货值996.2万元，同比增长-23.77%。集成电路设备完成销售收入15.96亿元，同比增长54.35%;出***货值4.23亿元，同比增长44.4%。LED设备完成销售收入7.14亿元，同比增长26.15%;出***货值305.1万元，同比增长了76.99%。
2014年中国半导体设备新进展中还有三大亮点
一是12英寸28~15纳米去耦合反应等离子体刻蚀机等14项集成电路设备通过工艺考核，达到量产，并实现了销售。
二是LED(照明)生产线关键设备MOCVD、刻蚀机、PVD、CVD等2014年销售51台，实现了产业化。
三是全自动单晶制绒酸洗综合设备等7项全自动化、高转换效率新型晶硅太阳能电池生产设备成功进入生产线。
展望2015年半导体设备制造业，预计2015年主要半导体设备制造商销售收入将增长25%左右，达到50亿元左右。
其中，集成电路设备将继续保持快速增长。2015年，在02专项和国家集成电路产业投资基金的支持下，更多的国产集成电路设备将进入大生产线，国产集成电路设备的国内外市场将继续得到增长。
而LED生产线设备有望实现国产化。2015年，在国家电子发展基金的支持下，国产LED设备将全面进入6家LED制造商的生产线中，这无疑将加快LED设备国产化的进程。
太阳能电池生产设备将继续小幅增长。2015年，国家继续扩大国内光伏市场，光伏行业年度增长率目标将超过70%。中国已成为全球光伏产业最大的终端市场，光伏企业将加快淘汰落后生产线设备、扩大产能。这将给我国太阳能电池设备制造商带来新的发展机遇。
